能源科學(xué)實(shí)驗(yàn)室超純水制備與管道系統(tǒng)設(shè)計(jì)安裝

2022-06-14 14:24:08 336

　　1、項(xiàng)目名稱(chēng)

　　能源科學(xué)實(shí)驗(yàn)室超純水制備系統(tǒng)

　　2、數(shù)量：

　　1套

　　3、能源科學(xué)實(shí)驗(yàn)室超純水制備與管道系統(tǒng)用途說(shuō)明：

　　超純水制備系統(tǒng)主要用于為能源科學(xué)實(shí)驗(yàn)室超導(dǎo)腔潔凈裝配線(xiàn)中超凈間內(nèi)超聲波清洗、高壓純水沖洗系統(tǒng)、純水噴淋清洗等工藝提供超純水。由于超導(dǎo)腔內(nèi)表面潔凈度對(duì)超導(dǎo)腔的性能影響很大，因此需要使用電阻率18MΩ.cm以上的超純水對(duì)內(nèi)外表面進(jìn)行噴淋清洗、超聲波清洗和高壓純水沖洗以表征其潔凈度。

　　此外，在能源科學(xué)實(shí)驗(yàn)室的規(guī)劃設(shè)計(jì)中，除超凈間需要用到電阻率18MΩ.cm以上的電子級(jí)一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的超純水外，還有低溫系統(tǒng)、水平測(cè)試系統(tǒng)、耦合器老練系統(tǒng)以及常溫束線(xiàn)前端系統(tǒng)，這些系統(tǒng)也需要用電阻率≥5MΩ.cm的去離子進(jìn)行冷卻，本超純水制備系統(tǒng)還將為上述系統(tǒng)提供水質(zhì)達(dá)標(biāo)的去離子水。

　　本系統(tǒng)安裝區(qū)域尺寸為15m*7.5m，如下圖所示。

實(shí)驗(yàn)室純水設(shè)備與管道系統(tǒng)改造圖片

　　4、能源科學(xué)實(shí)驗(yàn)室超純水設(shè)備技術(shù)要求及參數(shù)

　　4.1混床拋光產(chǎn)水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)

　　*4.1.1電阻率≥18.2MΩ.cm(25℃);

　　*4.1.2 產(chǎn)水量：≥3m³/h;

　　#4.1.3 TOC ≤1ppb;

　　#4.1.4 粒子數(shù)/L：≥0.5um微粒數(shù)，≤1個(gè);

　　#4.1.5 水質(zhì)其他要求：末端其他水質(zhì)指標(biāo)參照美國(guó)ASTM電子一級(jí)水標(biāo)準(zhǔn)。

4.2 系統(tǒng)其他單元的產(chǎn)水要求

#4.2.1預(yù)處理單元出水SDI值：<5

　　*4.2.2 RO裝置產(chǎn)水量：≥3.6m³/h;產(chǎn)水電導(dǎo)率<2us/cm;

　　*4.2.3 EDI裝置產(chǎn)水量：≥3m³/h;產(chǎn)水電阻率>16MΩ.cm;

4.3 配置清單及零配件設(shè)備主體部分說(shuō)明

　　系統(tǒng)由預(yù)處理單元、RO單元、EDI裝置和超純水精處理單元四部分組成。

　　4.3.1 預(yù)處理單元：

　　1)預(yù)處理采用多介質(zhì)過(guò)濾器+活性炭過(guò)濾器+軟化器方式;

　　2)過(guò)濾器罐體配置有獨(dú)立的裝料口和卸料口，方便濾料更換;

　　3)預(yù)處理單元可自動(dòng)化反洗、正洗。

　　4.3.2 RO單元：

　　1)RO單元采用雙級(jí)反滲透，并配置pH調(diào)節(jié)裝置;

　　2)反滲透膜殼采用Wavecyber，Codeline，ROPV(或不低于此規(guī)格的其它品牌);

　　3)反滲透膜采用DOW，GE，海德能(或不低于此規(guī)格的其它品牌)。

　　4.3.3 EDI單元：

　　EDI模塊采用IONPURE，E-CELL，Electropure(或不低于此規(guī)格的其它品牌)。

　　4.3.4 超純水精處理單元：

　　1)采用雙級(jí)拋光混床+終端過(guò)濾方式;

　　2)拋光樹(shù)脂采用羅門(mén)哈斯、陶氏、朗盛(或不低于此規(guī)格的其它品牌);

　　3)氮封水箱采用FRP材質(zhì)，水箱內(nèi)膽采用高品質(zhì)PP材質(zhì)(+GF+、新美樂(lè)、AGRU，或不低于此規(guī)格的其它品牌)，水箱有效容積6m3，配備技術(shù)成熟市場(chǎng)認(rèn)可高的氮封裝置;

　　4)拋光混床單元管路采用高品質(zhì)PVDF管路(+GF+、Roechling、Simona，或不低于此規(guī)格的其它品牌)。

4.4 其他設(shè)備、儀表

4.4.1 系統(tǒng)內(nèi)各主要水箱容積不小于6m3;

　　4.4.2 系統(tǒng)內(nèi)各主要水泵采用品牌認(rèn)可度高的水泵，SS316材質(zhì);

　　4.4.3 測(cè)量?jī)x表及流量計(jì)要確保計(jì)量準(zhǔn)確。系統(tǒng)關(guān)鍵模塊中的參數(shù)(流量、壓力、電阻率、電導(dǎo)率等)需遠(yuǎn)程可讀取，結(jié)合工控機(jī)，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)的運(yùn)行。

　　4.4.4 超純水供水系統(tǒng)配置2臺(tái)在線(xiàn)電阻率儀(拋光混床產(chǎn)水和循環(huán)回水)，品牌梅特勒、HACH、+GF+(或不低于此規(guī)格的其它品牌)。

　　4.4.5 配置一臺(tái)SS316材質(zhì)水泵，(從氮封水箱)給備用水箱供水，供水管道采用高品質(zhì)潔凈管道，管徑DN32，長(zhǎng)度20米;并配置兩個(gè)液位計(jì)，安裝于備用水箱內(nèi)，實(shí)現(xiàn)對(duì)備用水箱低液位時(shí)自動(dòng)補(bǔ)水。

　　4.5 控制系統(tǒng)

　　4.5.1 控制系統(tǒng)要求具有高可靠性和易維護(hù)性，保證長(zhǎng)期不間斷穩(wěn)定運(yùn)行。采用人機(jī)界面(HMI)與可編程控制器(PLC)構(gòu)成現(xiàn)場(chǎng)獨(dú)立運(yùn)行的監(jiān)控系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)整個(gè)工藝流程的監(jiān)控和管理。設(shè)有一臺(tái)就地操作盤(pán)，可實(shí)現(xiàn)手動(dòng)操作設(shè)備。

　　能源科室實(shí)驗(yàn)室純水管道安裝圖片

　　4.5.2 配置一臺(tái)工控機(jī)(即上位機(jī)，CPU不低于10代i5，內(nèi)存不小于8G，硬盤(pán)規(guī)格不低于256G固態(tài)+4T機(jī)械硬盤(pán)，顯示器27寸分辨率不低于2K)，通過(guò)工業(yè)以太網(wǎng)與PLC進(jìn)行遠(yuǎn)程聯(lián)網(wǎng)通訊，上位機(jī)能實(shí)現(xiàn)對(duì)系統(tǒng)工藝運(yùn)行的遠(yuǎn)程實(shí)時(shí)監(jiān)控，故障報(bào)警，以及對(duì)系統(tǒng)運(yùn)行的關(guān)鍵參數(shù)(如電阻率、電導(dǎo)率、流量、壓力等)進(jìn)行數(shù)據(jù)采集和存儲(chǔ)。

　　4.5.3系統(tǒng)具有的功能如下：

　　1)可動(dòng)態(tài)顯示工藝流程圖，包括設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)、實(shí)時(shí)運(yùn)行參數(shù)等;

　　2)可全自動(dòng)化運(yùn)行，包含自動(dòng)補(bǔ)水、自動(dòng)投藥、自動(dòng)反洗正洗液位控制保護(hù)連鎖等;

　　3)故障及報(bào)警功能，提供聲光報(bào)警，并記錄報(bào)警時(shí)間、恢復(fù)時(shí)間和累計(jì)次數(shù)等;

　　4)系統(tǒng)各模塊到期維護(hù)提醒功能。

　　5、能源科學(xué)實(shí)驗(yàn)室純水管道系統(tǒng)設(shè)計(jì)安裝

　　能源科學(xué)實(shí)驗(yàn)室純水管道系統(tǒng)設(shè)計(jì)，采用304不銹鋼管道焊接而成，整流純水管道的檢測(cè)及過(guò)濾裝置，超純水管道材可采用螺紋連接、冷溶連接、法蘭連接等連接方式裝配，包括有主管道安裝，還包括有旁路管道，旁路管道與所述主管道并聯(lián)，在旁路管道上沿水流流動(dòng)方向依次安裝有第一截止閥，球閥過(guò)濾裝置、第一電壓力表，在主管道上沿水流方向依次安裝有第一溫度感應(yīng)器，室內(nèi)純水冷卻裝置，室內(nèi)純水冷卻裝置上安裝有第二溫度感應(yīng)器，室內(nèi)純水冷卻裝置的一端分別與第二截止閥感應(yīng)器相連接安裝，其另外一端連接冷卻水出口管道，進(jìn)而保證整流純水冷卻裝置的正常使用。

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1、項(xiàng)目名稱(chēng)

2、數(shù)量：

3、能源科學(xué)實(shí)驗(yàn)室超純水制備與管道系統(tǒng)用途說(shuō)明：

4、能源科學(xué)實(shí)驗(yàn)室超純水設(shè)備技術(shù)要求及參數(shù)

4.1混床拋光產(chǎn)水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)

4.2 系統(tǒng)其他單元的產(chǎn)水要求

4.3 配置清單及零配件設(shè)備主體部分說(shuō)明

4.4 其他設(shè)備、儀表

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3、能源科學(xué)實(shí)驗(yàn)室超純水制備與管道系統(tǒng)用途說(shuō)明：

4、能源科學(xué)實(shí)驗(yàn)室超純水設(shè)備技術(shù)要求及參數(shù)

4.1混床拋光產(chǎn)水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)

4.2 系統(tǒng)其他單元的產(chǎn)水要求

4.3 配置清單及零配件 設(shè)備主體部分說(shuō)明

4.4 其他設(shè)備、儀表

4.5 控制系統(tǒng)

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　　2、數(shù)量：

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　　4、能源科學(xué)實(shí)驗(yàn)室超純水設(shè)備技術(shù)要求及參數(shù)

　　4.1混床拋光產(chǎn)水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)

4.3 配置清單及零配件設(shè)備主體部分說(shuō)明

　　4.5 控制系統(tǒng)

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